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요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 검토
4. 결론
감사
참고문헌
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2011 .12
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1998 .12
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2008 .06
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2009 .01
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .09
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2010 .06
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전자공학회논문지-IE
2011 .06
2,2,2-trifluoroethanol (TFEA)를 기초로한 세정제의 물성 및 세정성 영향 연구
공업화학
2005 .01
레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정
한국액체미립화학회지
2007 .01
수계세정제의 계면활성제 종류에 따른 물성, 세정성 및 유수분리 영향 연구
청정기술
2003 .03
LCD 제조공정에서 물리적 세정법의 미립자 제거효율 비교 연구
한국산학기술학회 논문지
2010 .03
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