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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.6
- 수록면
- 47 - 51 (5page)
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본 논문은 LCD등에 사용되는 유리기판 가공 과정에서 표면에 발생하는 이물질을 제거하기 위한 세정 시스템을 제안한다. 이 세정 공정 시스템은 알카리 전해수의 화학적 세정과 과열 수증기 시스템의 물리적 세정방법을 사용한 세정, 린스, 건조 공정으로 구성된다. 또한 세정 시스템에서 사용되는 알카리 전해수의 화학적 세정효과를 실험을 통해, 알카리 전해수의 세정 효과와 과열 수증기 시스템의 제거효과를 보인다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (8)
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1. [학술지(정기간행물)] - T. H. Kuehn / 1996 / Particle removal from semiconductor wafers by megasonic cleaning / Journal of Aerosol Science 27 : 427 ~ 428
2. [기타자료] - 박용준 / / 반도체 및 TFT-LCD용 세정액 / 한국과학기술정보연구원 기술뉴스브리프
3. [학술지(정기간행물)] - 홍민성 / 2005 / TFT LCD 세정 공정 개선에 관한연구 / 조선대학교 기계기술연구 8 (1) : 109 ~ 121
4. [학술지(정기간행물)] - 峠 有利子 / 2009 / アルカリ電解水による機能性ガラスの洗浄方式(特集 工業用洗浄装置の動向) / Industrial cleaning (4) : 13 ~ 16
5. [학술지(정기간행물)] - Edwin S. Kolic / 1969 / Water-electroloysis Dells Using Hydrogen- Diffusion Cathodes / Bttlele Memorial Institute
2. [기타자료] - 박용준 / / 반도체 및 TFT-LCD용 세정액 / 한국과학기술정보연구원 기술뉴스브리프
3. [학술지(정기간행물)] - 홍민성 / 2005 / TFT LCD 세정 공정 개선에 관한연구 / 조선대학교 기계기술연구 8 (1) : 109 ~ 121
4. [학술지(정기간행물)] - 峠 有利子 / 2009 / アルカリ電解水による機能性ガラスの洗浄方式(特集 工業用洗浄装置の動向) / Industrial cleaning (4) : 13 ~ 16
5. [학술지(정기간행물)] - Edwin S. Kolic / 1969 / Water-electroloysis Dells Using Hydrogen- Diffusion Cathodes / Bttlele Memorial Institute
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