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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.6
- 수록면
- 1,393 - 1,398 (6page)
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본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 법으로 PES 기판 위에 공정압력을 5 에서 20 mTorr 로 변화시켜 가며 GZO (Ga-doped ZnO) 박막을 제작하여, 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. XRD 측정을 통해 공정압력에 무관하게 모든 GZO 박막이 c 축으로 우선 성장함을 확인할 수 있었고, 5 mTorr 에서 제작한 GZO 박막이 반가폭 0.44° 로 가장 우수한 결정성을 나타내었다. AFM 관찰 결과, 표면 거칠기 값은 공정압력 5 mTorr 제작한 박막에서 가장 낮은 값인 0.20 nm 를 나타내었다. 공정압력 5 mTorr 에서 증착한 GZO 박막의 재료평가지수는 6652 로 가장 우수한 값을 나타내었고 이때 비저항과 가시광 영역에서의 평균 투과도는 각각 6.93×10<SUP>-4 </SUP>Ω·cm 과 81.4 % 이었다. 공정압력이 증가함에 따라 캐리어 농도가 감소하고 이로 인해 에너지 밴드갭이 좁아지는 Burstein-Moss 효과도 관찰할 수 있었다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (12)
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[학술지(정기간행물)] - C. Sekine / 2014 / Recent Progress of High Performance Polymer OLED and OPV Materials for Organic Printed Electronics / Sci. Technol. Adv. Mater 15 : 034203 ~
[단행본] - A. Lay. Ekuakille / 2010 / Wearable and Autonomous Biomedical Devices and Systems for Smart Environment / Springer
[학술대회논문] - M. Twyman / 2015 / Designing Wearable Haptic Information Displays for People with Vision Impairments / Northwestern Universiy, Stanford: CA, TEI 2015 : 15 ~ 19
[학술지(정기간행물)] - H. H. Yu / 2006 / The Effect of ITO Films Thickness on the Properties of Flexible Organic Light Emitting Diode / Optics Communications 259 : 187 ~ 193
[학술지(정기간행물)] - B. Yaglioglu / 2006 / A Study of Amorphous and Crysalline Phases in In2O3-10wt. % ZnO Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering / Thin Solid Films 496 : 89 ~
[단행본] - A. Lay. Ekuakille / 2010 / Wearable and Autonomous Biomedical Devices and Systems for Smart Environment / Springer
[학술대회논문] - M. Twyman / 2015 / Designing Wearable Haptic Information Displays for People with Vision Impairments / Northwestern Universiy, Stanford: CA, TEI 2015 : 15 ~ 19
[학술지(정기간행물)] - H. H. Yu / 2006 / The Effect of ITO Films Thickness on the Properties of Flexible Organic Light Emitting Diode / Optics Communications 259 : 187 ~ 193
[학술지(정기간행물)] - B. Yaglioglu / 2006 / A Study of Amorphous and Crysalline Phases in In2O3-10wt. % ZnO Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering / Thin Solid Films 496 : 89 ~
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