선택적 비어 충전을 위한 새로운 알루미늄 화학중착 공정 개발

김영성 ,  김병윤 ,  김동찬 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

화학증착 알루미늄에 의한 서브마이크론 접속창의 선택 충전 ( Selective deposition of submicron contact by CVD Al )

김병윤 ,  이경일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

화학중착 알루미늄에 의한 서브마이크론 접촉창의 선택 충전

김병윤 ,  이경일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성 ( Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts )

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .12

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

금속 구조 변화에 따른 선택 화학기상증착 W Plug 의 접합 신뢰성 연구 ( The Effects of Metal Structure on the Junction Stability of Sub - micron Contacts Using Selective CVD - W Plug )

최경근 ,  김춘환 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .05

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

접합층을 이용한 선택 텅스텐 화학기상증착 공정연구 ( A Study of Selective W-CVD Process Using the Glue Layer )

최경근 ,  황성보 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .12

화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국표면공학회지

1993 .06

통계적 기법을 이용한 선택적 CVD 텅스텐 공정 최적화 연구 ( The Optimization of the Selective CVD Tungsten Process using Statistical Methodology )

황성보 ,  최경근 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .12

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

기상화학증착법으로 성장한 알루미늄 도핑된 산화아연 박막의 전도성 향상을 위한 공정변수연구

김정삼 ,  양건우 ,  권성구

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

Al 배선 형성을 위한 화학증착법과 물리증착법의 조합 공정에 관한 연구

이원준 ,  김운중 ,  나사균 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

비어게임 시뮬레이션을 통한 Supply Chain 분석

전승표 ,  박정훈 ,  서지희

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2012 .11

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01