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유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 r.f. bias 효과에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
ARE법에 의한 Cubic Boron Nitride박막의 합성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .05
유도결합 플라즈마 증발법을 이용한 CrN 박막 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
TEM에 의한 Boron Nitride박막의 결정구조 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착
한국에너지학회 학술발표회
2014 .11
알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
개시제를 이용한 화학 기상 증착 고분자 박막과 그 응용
고분자 과학과 기술
2011 .06
낮은 소스전력-펄스플라즈마를 이용하여 증착한 실리콘 나이트라이드 박막 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
화학 기상 증착법으로 저온 증착한 보론 포스파이드의 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
$CH_4-CO_2$혼합가스로부터 PECVD법에 의한 DLC 박막 증착에 관한 연구
한국재료학회지
1996 .01
직접이온빔으로 증착된 Carbon Nitride 박막의 기판개질 효과에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
신경망모델을 이용한 SiN 박막의 수명 시간 모델
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
특집 : 재료의 플라즈마 표면처리 기술 ; 플라즈마 물리증착 및 화학증착 ( Plasma Assisted PVD and CVD )
대한용접·접합학회지
1999 .02
펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착
한국자원리싸이클링학회 심포지엄
2003 .01
화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향
한국재료학회지
1994 .01
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