화학중착 알루미늄에 의한 서브마이크론 접촉창의 선택 충전

김병윤 ,  이경일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

선택적 비어 충전을 위한 새로운 알루미늄 화학증착 공정 개발 ( Development of new Al CVD process for selective via plugging )

김영성 ,  김병윤 ,  김동찬 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

선택적 비어 충전을 위한 새로운 알루미늄 화학중착 공정 개발

김영성 ,  김병윤 ,  김동찬 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성 ( Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts )

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .12

알루미늄 / 실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학증착 알루미늄의 스파이킹 특성

이경일 ,  김영성 ,  주승기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

초고집적 소자를 위한 화학증착 알루미늄 박막의 증착 특성에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Co 선택적 증착에 열처리가 미치는 영향

박희정 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

서브마이크론 콘택을 매꾸기 위해 poly Si를 이용한 2단계 W-CVD

최경근 ,  황성보 ,  박홍탁 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

화학증착 알루미늄 박막의 표면 상태 개선에 관한 연구

김영성 ,  이경일 ,  주승기

한국표면공학회지

1993 .06

Al/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(2)

이철진 ,  엄문종 ,  라용춘 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

회전식 화학증착 장치의 높은 증착 효율을 위한 최적 형상 전산해석연구

박장진 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2013 .10

증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색

이중호 ,  곽호상 ,  김동주

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .11

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08