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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제10권 1호
발행연도
1987.11
수록면
418 - 421 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

1988

삼층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 상층패턴 형성 ( Formation of Submicron Top Pattern by using Tri-Layer Resist Structure )
심규환 ,  양전욱 ,  이진희 외 2명 전자공학회논문지 1988.05 학술저널
다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명 특정연구 결과 발표회 논문집 1988.01 학술대회자료
다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )
심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명 한국통신학회 학술대회논문집 1988.01 학술대회자료

1987

다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )
심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1987.11 학술대회자료

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