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저진공 Single-step UV 나노임프린트 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
UV 나노임프린트 리소그래피 공정에서 레지스트 도포의 최적화를 통한 잔류층 두께의 최소화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
기계와 재료
2003 .01
Elementwise Patterned Stamp와 부가압력을 이용한 UV 나노임프린트 리소그래피
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
UV 나노 임프린트 공정에서 스탬프 균일 변형을 위한 더미 블록 설계
한국생산제조학회지
2008 .10
UV 나노임프린트 리소그래피용 UV 투과성 나노스탬프 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
UV NIL공정에서 액적의 양과 도포방법에 따른 기포형성 연구
한국산학기술학회 논문지
2013 .09
불화 함유 다이아몬드 상 탄소 스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2006 .05
Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피 기술
한국유변학회 학술발표회
2003 .01
다중양각스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피공정에서 웨이퍼 미소변형의 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
분자동역학 전산모사를 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프-레지스트 간의 상호작용 및 원자분포에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
UV 나노임프린트를 위한 UV 경화성 수지의 경화 모델 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
UV 나노임프린트 리소그래피를 위한 불화 함유 다이아몬드 상 탄소 스탬프의 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
나노임프린트 리소그래피용 UV 경화성 레진의 점착특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
UV-나노임프린트용 UV 경화성 레진의 응착 특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2009 .06
다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
제어로봇시스템학회 논문지
2004 .07
다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
전사공정을 위한 UV 경화성 점착제 기반의 스탬프 제작
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
나노임프린트용 UV 경화성 레진의 점착특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .11
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