다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )

심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )

양전욱 ,  심규환 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )

황영모 ,  이진희 ,  최영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

A Review of the Mechanisms Regarding Duplex Layer Formation During Various Manufacturing Processes

김창경

한국재료학회지

1998 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

증착각도를 달리한 무기질 a-Se₇₅Ge₂₅ 포토레지스트의 미세패턴형성

鄭鴻倍 ,  李榮鍾 ,  柳熙寬 외 1명

전기학회논문지

1987 .09

최소자승법을 이용한 이중층 마이크로스트립 방향성 결합기의 설계 ( Design of Directional Couplers in Bilevel Microstrip Using the Least Squares Residual Method )

양기덕 ,  김원기 ,  이용민 외 2명

한국전자파학회논문지

1998 .04

삼층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 상층패턴 형성 ( Formation of Submicron Top Pattern by using Tri-Layer Resist Structure )

심규환 ,  양전욱 ,  이진희 외 2명

전자공학회논문지

1988 .05

전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구

박종관 ,  박상근 ,  조성욱 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

고집적 반도체 미세가공용 레지스트

안광덕

전자공학회잡지

1984 .10

고집적 반도체 미세 가공용 레지스트

안광덕

고분자 과학과 기술

1990 .11

원자외선 미세가공용 레지스트 재료 ( Resist Materials for Deep UV Lithography )

안광덕

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

폴리머의 연소특성 ( Combustion Characteristics of Polymers )

길용석 ,  정석호

대한기계학회 춘추학술대회

1993 .01

단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )

배경성 ,  홍승각

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

전기 이중층 커패시터의 특성 및 응용

임기조

전기의세계

1993 .07

6. 폴리머 콘크리트(Polymer Concrete)

변근주

대한토목학회지

1987 .02

폴리머 적층 시스템에 의한 다양한 3 차원 미세 구조물 제작

김종영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

플라즈마중합막의 제작과 레지스트 특성에 관한 연구

李德出 ,  朴鍾官 ,  韓相玉 외 2명

전기학회논문지

1994 .05

마이크로 전자빔 시스템을 위한 전자광학렌즈의 제작에 의한 나노 패턴 형성 ( Nano-scale pattern delineation by fabrication of electron-optical lens for micro E-beam system )

이용재 ,  박정영 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-D

1998 .09