3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )

황영모 ,  이진희 ,  최영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )

양전욱 ,  심규환 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )

심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Dry thermal development of negative electron beam resist polystyrene

Con ,  Celal ,  Abbas 외 6명

Advances in nano research

2013 .01

Resist 표면 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구

김학 ,  한창호 ,  이기용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

플라즈마중합막의 제작과 레지스트 특성에 관한 연구

李德出 ,  朴鍾官 ,  韓相玉 외 2명

전기학회논문지

1994 .05

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

원자외선 미세가공용 레지스트 재료 ( Resist Materials for Deep UV Lithography )

안광덕

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

전자빔용접시스템 ( Electron beam welding system )

윤종원

대한용접·접합학회지

2000 .10

Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography

이해원 ,  이석규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .10

전자빔 인출을 위한 2차전자방출 특성 연구

우성훈 ,  이홍식 ,  이광식

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

가속전자와 소재의 상호작용 모델링을 통한 전자빔 피니싱 수치해석의 정밀도 향상

김지수 ,  박형욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

고집적 반도체 미세가공용 레지스트

안광덕

전자공학회잡지

1984 .10

고집적 반도체 미세 가공용 레지스트

안광덕

고분자 과학과 기술

1990 .11

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on the Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

다층레지스트 구조를 이용한 서브미크론 패턴 형성 연구 ( A Study on The Formation of Submicron Pattern Using Multi Layer Resist Structure )

심규환 ,  최영규 ,  양전욱 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06