고집적 반도체 미세 가공용 레지스트

안광덕

고분자 과학과 기술

1990 .11

원자외선 미세가공용 레지스트 재료 ( Resist Materials for Deep UV Lithography )

안광덕

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )

양전욱 ,  심규환 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

반도체 미세가공용 포토레지스트의 ( Photo - resist ) 연구방향

김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1989 .04

초고집적 반도체 소자의 배선재료 기술과 경향

고철기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )

황영모 ,  이진희 ,  최영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

반도체 고집적화도 감광재료가 따라줘야

김성수

고분자 과학과 기술

2003 .12

다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )

심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구

박종관 ,  박상근 ,  조성욱 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

고집적 반도체를 위한 테스트 순서 조정 방법

김완기 ,  장재필 ,  홍종기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .02

고집적 메모리의 테스트 기술

안영창

전자공학회지

1998 .11

UV 레지스트용 노블락 수지의 특성

김지홍 ,  서동철 ,  이승화 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .04

'91년도 반도체산업의 전망과 대응

김주범

전자진흥

1991 .01

고집적 폴리머열교환기

오동욱 ,  송찬호 ,  박상진 외 1명

기계저널

2014 .05

차세대 반도체 기술 개발 : 반도체 세계 2강을 향하여

조중휘

전자공학회지

2006 .05

한계에 다다른 고집적도화

김정흠

전자진흥

1986 .01

원칙만을 고수하는 고집있는 경영

한국열관리사협회

한국열관리사협회보

2003 .01