G선 스테퍼를 이용한 형상반전공정의 감광막 형상 특성

박종문 ,  박민 ,  현영철 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 5명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1994 .02

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1993 .05

다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )

양전욱 ,  심규환 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )

황영모 ,  이진희 ,  최영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

스테퍼와의 혼합 묘화를 위한 전자 빔 직접 묘화 기술에 관한 연구 ( A Study of the Electron-beam Direct Writing Technique for Mix-and-Match with Stepper )

이상보 ,  유상기 ,  김여환 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .05

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )

심규환 ,  이진희 ,  강진영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Adaptive Lyapunov-based Control in Microstepping for Permanent Magnet Stepper Motors

Donghoo Shin ,  Wonhee Kim ,  Dong gyu Gang 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2010 .05

전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구

박종관 ,  박상근 ,  조성욱 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

여기에 주목! 광학설계 - 스테퍼 렌즈 타입의 변천

오무라 야스히로

광학세계

2016 .01

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08