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Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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플라즈마중합법에 의한 (MMA+Styrene) 박막의 E-beam용 레지스트 특성에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
플라즈마중합법에 의한 폴리스티렌의 분자구조 제어 및 레지스트 특성 조사
전기학회논문지
1996 .03
플라즈마중합법에 의한 고분자 겔 막의 제조와 구조특성에 관한 연구
전기학회논문지
1997 .11
플라즈마중합 (MMA-Sty-TMT) 박막의 레지스트 특성조사
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
플라즈마중합 헥사메틸디실록산 박막의 제조 및 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
플라즈마중합에 의한 금속보호코팅
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1991 .04
플라즈마 중합법에 의해 제작된 폴리스틸렌의 레지스트 특성 조사(Ⅱ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
Polymerized Organic Thin Films and Comparison on their Physical and Electrochemical Properties
한국표면공학회지
2002 .02
3층 레지스트 구조에서 하층 레지스트의 광 흡수 및 건식 식각 특성 ( The Light Absorption and Dry Etch Characteristics of the Bottom Resist in Trilevel Resist Structure )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
플라즈마중합에 의한 유기박막합성과 표면개질 : 1. Perfluoropropene 의 플라즈마중합에 의한 철표면 개질
폴리머
1991 .10
플라즈마 중합막을 이용한 고분자 습도센서에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
플라즈마중합에 의한 표면개질 2. 황산용액에서 Perfluoropropene ( PEP ) 플라즈마중합박막의 부식거동
폴리머
1995 .05
플라즈마중합 PPMMA의 유전특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .11
다층 레지스트 구조를 이용한 sub-μm 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Sub-μm Pattern Formation by using the Multi Layer Resist Structures )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
플라즈마 중합된 유기박막의 유전특성과 산화의 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
1986 .07
전자빔 네가티브 레지스트의 건식현상에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
PLASMA - POLYMERIZED GAS SEPARATION MEMBRANE (1)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1991 .04
PLASMA - POLYMERIZED GAS SEPARATION MEMBRANE (2)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1992 .04
플라즈마중합 PPMMA의 전기전도 기구에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .11
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