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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제15권 제6호
발행연도
2005.6
수록면
667 - 673 (7page)

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This paper shows a method for design of the nano-positioning planar scanner used in the scanning probe microscope. The planar scanner is composed of flexure guides, piezoelectric actuators and feedback sensors. In the design of flexure guides, the Castigliano's theorem was used to find the stiffness of the guide. The motion amplifying mechanism was used in the piezoelectric actuator to achieve a large travel range. We found theoretically the travel range of the total system and verified using the commercial FEM(finite element method) program. The maximum travel range of the planar scanner is above than 140 $\mu$m. The 3 axis positioning capability was verified by the mode analysis using the FEM program.
#고유진동수 #나노 평면 스캐너 #압전 소자 구동기 #유연 가이드 #주사현미경 #Flexure Guide #Nano-positioning Planar Scanner #Natural Frequency #Piezoelectric Actuator #Scanning Probe Microscope

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