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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.8
- 수록면
- 798 - 803 (6page)
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This paper proposes a grating scanner which is driven by a stack-type piezoelectric element. The mechanism of the grating scanner is based on flexure hinges. Using some constraints, the compliant mechanism is designed and then verified by Finite Element Analysis. The designed compliant mechanism is manufactured by wire electro-discharge machining, and then integrated with a stack-type piezoelectric element for actuation and a capacitance displacement sensor for measuring ultra-precision displacement. Experiments demonstrates the characteristics and the performances of the grating scanner using the terms of working range, resonance frequency, bandwidth and resolution. The grating scanner is applicable to a Moire interferometry for measuring 3-dimensional microscopic surface.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 격자 스캐너의 구조
Ⅲ. 격자 스캐너의 수학적 모델
Ⅳ. 격자 스캐너의 설계
Ⅴ. 격자 스캐너의 실험 및 고찰
Ⅵ. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - 김기홍 / 2005 / Micro-factory 공정간 마이크로 부품 검사 프로브 개발 / 한국공작기계학회 춘계학술대회 논문집 : 424 ~ 428
2. [학위논문] - 최이배 / 1998 / 위상천이 모아레 토포그라피를 이용한 3차원 물체의 미세형상측정 / 박사 / KAIST
3. [학술지(정기간행물)] - Y. Tian / 2009 / A flexure-based five-bar mechanism for micro/nano manipulation / Sensors and Actuators A: Physical 153 (1) : 96 ~ 104
4. [학술지(정기간행물)] - D. Kang / 2009 / Optimal design of high precision XY-scanner with nanometerlevel resolution and millimeter-level working range / Mechatronics 19 (4) : 562 ~ 570
5. [학술지(정기간행물)] - M. N. M. Zubir / 2009 / Development of a novel flexure-based microgripper for high precision microobject manipulation / Sensors and Actuators A: Physical 150 (2) : 257 ~ 266
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4. [학술지(정기간행물)] - D. Kang / 2009 / Optimal design of high precision XY-scanner with nanometerlevel resolution and millimeter-level working range / Mechatronics 19 (4) : 562 ~ 570
5. [학술지(정기간행물)] - M. N. M. Zubir / 2009 / Development of a novel flexure-based microgripper for high precision microobject manipulation / Sensors and Actuators A: Physical 150 (2) : 257 ~ 266
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