초정밀 3축 이송 스테이지의 개발 : 1. 해석 및 설계 :1. 해석 및 설계

강중옥; 서문훈; 한창수; 홍성욱

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강중옥 서문훈 한창수 홍성욱

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제3호

발행연도: 2004.3

수록면: 147 - 154 (8page)

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2004

초정밀 3축 이송 스테이지의 개발 : 1. 해석 및 설계

강중옥 , 서문훈 , 한창수 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.03 학술저널

2002

초정밀 3축 이송 스테이지의 설계, 모델링 및 해석

강중옥 , 서문훈 , 한창수 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.10 학술대회자료

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This paper presents a procedure for analysis and design of a fine positioning stage, which has many applications in industries for machine tools, semiconductor, LCD and so forth. The stage considered here is based on a single module with 3 axes which is composed of flexure hinges, piezoelectric actuators and their peripherals. Through a series of analysis, the structural analysis model is simplified as a rigid body(the moving part) and springs(the flexure hinges). An experimental design procedure is applied to determine the dimension of flexure hinges. A sensitivity analysis on the notch positions is also performed to obtain a guideline of fabrication accuracy for the stage. An actual fine stage is made and verified through an experiment on the dynamic characteristics.

#Fine positioning stage(초정밀 스테이지) #Flexure hinge(유연 힌지) #Experiment design(실험계획) #Finite element method(유한 요소법) #Natural frequency(고유진동수) #Frequency response(주파수 응답) #Piezoelectric actuator(압전 소자 구동기) #Orthogonal array(직교배열) #Notch(노치) #Stiffness coefficient(강성)

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논문수 2 이용수 399

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홍성욱

소속기관 금오공과대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1% 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

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