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이병렬 원종화 조진우 (삼성 종합 기술원) 정희문 (삼성 종합 기술원) 조용철 (삼성 종합 기술원) 이진호 (삼성 종합 기술원) 고영철 (삼성 종합 기술원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2006년 하계종합학술대회
발행연도
2006.6
수록면
361 - 362 (2page)

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In this paper, we describe a capacitive position sensing and motion control scheme of a MEMS scanner used for laser display application. The laser displays can be made by scanning laser beams much the same way a CRT scans electron beams. So the accuracy of the scanner motion determines the quality of the displayed image. The MEMS scanner under consideration is composed of electrostatic comb electrodes with initial gap ... 전체 초록 보기

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