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학술대회자료
저자정보
박은주 (영남대학교) 이동연 (영남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,188 - 4,192 (5page)

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The rotational scanner was designed, manufactured, and assessed with respect to its application to semiconductor equipment such as AFM and lithograph. The values of the components of the scanner were estimated to minimize the parasitic errors and to maximize the rotation range with the optimized design. Every process was verified by FEA, and the scanner was manufactured on the basis of the verified results. Further, in order to estimate the performance of nano-resolution, a PZT actuator was used as an actuator; a capacity sensor was used for estimating the displacement. As a rotational scanner with precise rotation at the center of the scanner and nano-level precision, the proposed scanner can be widely employed on semiconductor equipment.
#Rotational Scanner(회전 스캐너) #Optimal Design(최적설계) #Flexure Guide(유연 가이드) #Nano Resolution(나노급 분해능)

목차

Abstract
1. 서론
2. 회전 스캐너의 설계 및 해석
3. 최적설계
4. 결론
참고문헌

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