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저자정보
Chih-Hsien Lin (National Taiwan University) Shao-Kung Hung (National Taiwan University) Mei-Yung Chen (National Taiwan Normal University) Shan-Tsung Li (National Taiwan University) Li-Chen Fu (National Taiwan University)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2008
발행연도
2008.10
수록면
771 - 776 (6page)

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This paper proposes a novel planar electromagnetic-actuated positioning stage. The stage is suspended by the monolithic parallel flexure mechanism, which motion comes from the deformation of the flexure. A linear electromagnetic actuator which consists of a near-uniform magnetic field and four coils is designed and implementation to provide the propelling force for 3-DOF motions. In order to suppress the vibration of the flexure suspension mechanism, an eddy current damper is designed and integrated with the electromagnetic actuator. The non-contact damper is more advanced than the contact damper used in our previous researches. The design traveling range is 3mm × 3mm in planar motion. The experimental results show the vibration of the flexure mechanism could be suppressed by the designed eddy current damper. The results also show the regulation and tracking performance by a well-designed robust adaptive sliding mode controller, which can overcome the disturbance and modeling uncertainty and guarantee a satisfactory performance.
#Precision motion control #vibration suppression #parallel flexure mechanism #Lorentz force actuation #eddy-current damper

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. MECHATRONIC DESIGN
3. DYNAMIC MODELING
4. Controller Design
5. EXPERIMENTAL RESULTS
6. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

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