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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.10 No.1
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 119 - 121 (3page)
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A tip-scanning atomic force microscope (AFM) can be used as a highly accurate height-measuring instrument for large samples, such as liquid crystal displays, To accurately measure the flatness or surface roughness of large samples, the xy-scanner-induced out-of-plane motion must be known to discriminate scanner artifacts fro ... 전체 초록 보기
목차
1. Introduction
2. Vertical nonlinearity correction of a tip-scanning AFM
3. Out-of-plane notion of a tip-scanning AFM
4. Conclusions
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
Baselt, D. R. / 1993 / Scanned-cantilever atomic force microscope / Review of Scientific Instruments 64(4):908~911
Kwon, J / 2003 / Atomic force microscope with improved scan accuracy, scan speed, and optical vision / Review of Scientific Instruments 74(10):4378~4383
Lee, D. Y / 2006 / Orthogonality Correction of Planar Sample Scanner for Atomic Force Microscope / Japanese Journal of Applied Physics 45(13):L370~L372
Jung, H. / 2001 / Tracking control of piezoelectric actuators / Nanotechnology 12(1):14~20
Schitter, G / 2002 / Sensors for closedloop piezo control: strain gauges versus optical sensors / Measurement Science and Technology 13(4):N47~N48
Kwon, J / 2003 / Atomic force microscope with improved scan accuracy, scan speed, and optical vision / Review of Scientific Instruments 74(10):4378~4383
Lee, D. Y / 2006 / Orthogonality Correction of Planar Sample Scanner for Atomic Force Microscope / Japanese Journal of Applied Physics 45(13):L370~L372
Jung, H. / 2001 / Tracking control of piezoelectric actuators / Nanotechnology 12(1):14~20
Schitter, G / 2002 / Sensors for closedloop piezo control: strain gauges versus optical sensors / Measurement Science and Technology 13(4):N47~N48
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