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저자정보
Dong-Yeon Lee (영남대학교) Dae-Gab Gweon (영남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회 논문집(경북지구)
발행연도
2008.10
수록면
13 - 18 (6page)

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This paper shows a method of designing a nano-positioning planar scanner that can be used in a scanning probe microscope. The planar scanner is composed of flexure guides, piezoelectric actuators and feedback sensors. Furthermore, we used a motion amplifying mechanism in the piezoelectric actuator to achieve a large travel range. We theoretically determined the travel range of the total system and verified the range by using a program based on a finite element analysis. The maximum travel range of the planar scanner was greater than 120 ㎛. A planar scanner of an atomic force microscope can move samples with a few ㎚ resolutions. To get stable AFM images of small feature samples, a closed loop control could not be used due to large random errors of the sensor. The orthogonality of a new planar scanner having a motion guide is measured and corrected by using a simple electronic circuit in the open loop scanning to reduce the scanner artifact.
#Nano-positioning planar scanner #flexure guide #scanning probe microscope

목차

Abstract
Introduction
Design and analysis of the planar scanner
Orthogonality correction
Summary and Conclusion
References

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