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웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
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기계저널
2000 .09
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2000 .09
웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
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2008 .05
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2007 .01
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2000 .09
반도체 프로세스에 있어서의 환경측정과 모니터링의 설계
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1986 .01
테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비
기계저널
2000 .09
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한국막학회 총회 및 학술발표회
2000 .01
반도체 프로세스기술의 현황과 장래
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1982 .01
반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공
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2010 .06
반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
대한기계학회지
1993 .02
반도체 분야 현황
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1981 .12
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전자진흥
1990 .01
방사형 보드를 이용한 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
한국멀티미디어학회 학술발표논문집
2009 .05
반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형
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2017 .04
QUEST를 이용한 반도체 프로세스 시간 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2008 .10
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
반도체 웨이퍼 가공 공장 스케쥴링을 위한 자율 에이전트 기반 시스템 : PASS
한국지능정보시스템학회 학술대회논문집
1998 .12
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