주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

반도체 Wafer Fabrication 공정에서의 생산성 향상에 관한 연구

임주택 ,  옥동기 ,  김인호 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

1998 .04

반도체 웨이퍼 가공 공정에서 흐름시간을 제어하기 위한 온라인 스케쥴링 방법 ( An On-Line Scheduling Methodology to Control the Flow Time in Semiconductor wafer Fabrication )

윤현중 ,  이두용

대한기계학회 논문집 A권

1999 .12

반도체 Wafer Fabrication 공정에서의 생산일정계획

이군희 ,  홍유신 ,  김수영

대한산업공학회지

1995 .09

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

반도체 Wafer Fabrication 공정에서의 Shift 단위 생산 일정계획

예승희 ,  김수영

산업공학 (IE interfaces)

1997 .03

반도체 Wafer Fabrication공정의 생산일정계획시스템

이군희 ,  홍윤신 ,  김수영

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1994 .10

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

반도체 절단 공정의 웨이퍼 자동 정렬에 관한 연구

김형태 ,  송창섭 ,  양해정

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .12

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 공정에서의 이상치 탐지 기법을 이용한 불량 웨이퍼 탐지

김동일 ,  강필성 ,  조성준 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2009 .05

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

300 ㎜보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석

송근수 ,  유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05

Job Release Control in Semiconductor Wafer Fabrication

Appa Iye ,  Sivakuma ,  Chao Qi 외 2명

Industrial Engineering & Management Systems

2003 .12

반도체 웨이퍼용 브레이킹 머신의 개발

차영엽 ,  최범식

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .10

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11