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관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2022 .11
강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2021 .11
반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .02
회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
반도체 제조 공정에서 graph attention networks를 이용한 웨이퍼 edge point 가상 계측 모델
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2021 .11
웨이퍼 맵의 정량적 분류 체계 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2019 .11
웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
CMP 온도 모니터링 시스템을 이용한 웨이퍼 면내 균일도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
실리콘 이종 접합 태양전지 적용을 위한 얇은 결정질 웨이퍼의 표면 개질 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .07
웨이퍼 맵 패턴 분석을 위한 삼중항 손실 기반 비지도 표현 학습
한국정보과학회 학술발표논문집
2021 .06
반도체 웨이퍼의 표면 불량을 자동적으로 분류하는 CycleGAN 기반 방법
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
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