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N₂O plasma growth ultra-thin tunnel oxide layer passivation by PECVD for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Tunnel Oxide Passivation Contact Cell 적용을 위한 tunnel oxide layer의 성장 방법에 따른 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
N₂O gas를 이용한 tunnel oxide layer의 RF-power 가변에 따른 passivation 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
ALD-Al2O3 막의 열처리 및 플라즈마 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
Diffused layer characteristics by boron concentration effect in boron silicate oxide layer using PECVD for co-diffused c-Si solar cell applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Analysis of wet chemical tunnel oxide layer characteristics capped with phosphorous doped amorphous silicon for high efficiency crystalline Si solar cell application
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
표면 패시베이션 향상을 위한 이종접합 태양전지 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Plasma nitridation of atomic layer deposition-Al2O3 by NH3 in PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Low-temperature synthesis of nc-Si/a-SiNx: H quantum dot thin films using RF/UHF high density PECVD plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Solving the RF coupling issue between chambers that share the ground in one PECVD system
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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