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이용욱 (서울대학교) 이정수 (서울대학교) 한민구 (서울대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,289 - 1,290 (2page)

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용액공정형 ZTO 막과 ZTO TFTs를 제작하여, 다양한 열처리 온도 하에서 ZTO 막의 TFTs의 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 용액공정형 ZTO TFT의 열처리 온도가 300℃에서 500℃로 증가함에 따라 문턱전압은 16.89V 에서 -0.23V 로 감소하였다. 그러나 온도가 550℃가 되면서 문턱전압은 1.64V 로 다시 증가하였다. 문턱전압의 변화원인은 전자 농도의 증감으로 ... 전체 초록 보기

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