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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제5호
발행연도
2013.1
수록면
373 - 379 (7page)

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유리기판 위에 Mg가 첨가된 zinc tin oxide(ZTO:Mg) 박막을 rf 마그네트론 스퍼터링하였다. 스퍼터링 시 주입된 산소와 아르곤의 유량에 따른 ZTO:Mg박막의 광 특성 변화를 측정하였다. 박막의 결정구조, 원소특성 및 깊이방향 원소분포를 조사하기 위하여 XRD, XPS 및 SIMS 측정을 수행하였다. 또한 N+ 실리콘웨이퍼를 게이트전극으로 사용한 bottom-gate 구조의 투명박막트랜지스터를 제조하고, 산소유량에 따른 ZTO:Mg박막트랜지스터의 이동도, 문턱전압 등의 변화를 관찰하였다.
#Transparent thin film transistors #Zinc tin oxide #XPS #Optical transmittance #Energy band gap

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