솔루션 공정을 이용한 Zin Tin Oxide 박막 트랜지스터

김용진; 이정수; 이용욱; 김영훈; 한민구

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저자정보: 김용진 (서울대학교) 이정수 (서울대학교) 이용욱 (서울대학교) 김영훈 (전자부품연구원) 한민구 (서울대학교)

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회

발행연도: 2010.7

수록면: 1,315 - 1,316 (2page)

이용수

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본 논문에서는 솔루션 공정을 이용하여 제작하는 산화물 박막 트랜지스터 그리고 제작된 소자의 전기적 특성에 대해 연구하였다. 본 논문에서 소개되는 산화물 박막 트랜지스터는 Zinc Tin Oxide 액티브 층과 Indium Tin Oxide 소스/드레인 전극 모두에 -chloride, ... 전체 초록 보기

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