Solution-Processed Zinc-Tin Oxide Thin-Film Transistors for Integrated Circuits

Kim, Kwang-Ho; Park, Sung-Kyu; Kim, Yong-Hoon; Kim, Hyun-Soo; Oh, Min-Suk; Han, Jeong-In

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저자정보: Kim, Kwang-Ho (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes) Park, Sung-Kyu (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes) Kim, Yong-Hoon (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes) Kim, Hyun-Soo (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes) Oh, Min-Suk (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes) Han, Jeong-In (Semiconductor and Information Display Research Division, Korea Electronics Technology Institutes)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display

발행연도: 2009.1

수록면: 534 - 536 (3page)

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We have fabricated solution-processed zinc-tin oxide thin film transistors (TFTs) and simple circuits on glass substrates. We report a solutionprocessed zinc-tin oxide TFTs on silicon wafer with mobility greater than 9 $cm^2/V{\cdot}s$ (W/L = 100/5 ${\mu}m$) and threshold voltage variation of less than 1 V after bias-stressing. Also, we fabricated solution-processed zinc-tin oxide circuits including inverters and 7-stage ring oscillators fabricated on glass substrates using the developed zinc-tin oxide TFTs.

#Zinc-Tin Oxide #Thin-Film Transistors #Integrated Circuits

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