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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,778 - 1,783 (6page)

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A compact and two-dimensional atomic force microscope (AFM) using an orthogonal sample scanner, a calibrated homodyne laser interferometer and a commercial AFM head was developed for use in the nanometrology field. The x and y position of the sample with respect to the tip are acquired by using the laser interferometer in the open-loop state, when each z data point of the AFM head is taken. The sample scanner which has a motion amplifying mechanism was designed to move a sample up to 100 × 100 ㎛² in orthogonal way, which means less crosstalk between axes. Moreover, the rotational errors between axes are measured to ensure the accuracy of the calibrated AFM within the full scanning range. The conventional homodyne laser interferometer was used to measure the x and y displacements of the sample and compensated via an X-ray interferometer to reduce the nonlinearity of the optical interferometer. The repeatability of the calibrated AFM was measured to sub-nm within a few hundred nm scanning range.
#Calibrated Atomic Force Microscope(교정용 원자현미경) #Laser Interferometer(레이저 간섭계) #Orthogonal Scanner(직교 스캐너) #Flexure-guide(유연 가이드)

목차

Abstract
1. 서론
2. 교정용 원자현미경의 설계 개관
3. 샘플 스캐너의 설계
4. 레이저 간섭계의 비선형 보상
5. 성능 평가
6. 결론
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