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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.12
- 발행연도
- 2013.12
- 수록면
- 1,281 - 1,286 (6page)
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In this paper, a miniaturized stage with two prismatic-prismatic joints (2-PP) type parallel compliant mechanism driven by piezo actuators is proposed. This stage consists of two layers which are a motion guide layer and an actuation layer. The motion guide layer has 2-PP type parallel compliant mechanism to guide two translational motions, whereas the actuation layer has two leverage type amplification mechanisms and two piezo actuators to generate forces. Since the volume of the stage is too small to mount displacement sensors, the piezo actuators embedding strain gauge sensors are chosen. With the strain gauge-embedded piezo actuators, a semi-control is implemented, which results in hysteresis compensation of the stage. As the results, the operating range of 30 ㎛, the resolution of 20 ㎚, and the bandwidth of 400 ㎐ in each axis were obtained in the experiments.
목차
1. 서론
2. 소형 XY 스테이지의 구조
3. 소형 XY 스테이지의 실험 및 결과 고찰
4. 결론
참고문헌
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