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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.12
- 수록면
- 1,611 - 1,617 (7page)
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A compact and two-dimensional atomic force microscope (AFM) using an orthogonal sample scanner, a calibrated homodyne laser interferometer and a commercial AFM head was developed for use in the nanometrology field. The x and y position of the sample with respect to the tip are acquired by using the laser interferometer in the open-loop state, when each z data point of the AFM head is taken. The sample scanner which has a motion amplifying mechanism was designed to move a sample up to 100 x 100 μm2 in orthogonal way, which means less crosstalk between axes. Moreover, the rotational errors between axes are measured to ensure the accuracy of the calibrated AFM within the full scanning range. The conventional homodyne laser interferometer was used to measure the x and y displacements of the sample and compensated via an X-ray interferometer to reduce the nonlinearity of the optical interferometer. The repeatability of the calibrated AFM was measured to sub-nm within a few hundred nm scanning range.
목차
Abstract
1. 서론
2. 교정용 원자현미경의 설계 개관
3. 샘플 스캐너의 설계
4. 레이저 간섭계의 비선형 보상
5. 성능 평가
6. 결론
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
Binning G., Quate C. F. and Gerber Ch., 1986, “Atomic Force Microscope,” Phy. Rev. Lett., Vol. 56, No. 9, pp. 930~933.
Schneir J., McWaid T. H., Alexander J. and Wilfley B. P., 1994, “Design of an Atomic Force Microscope with Interferometric Position Control,” J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 12, No. 6, pp. 3561~3566.
Dong-Yeon Lee, Kim D. M. and Gweon D. G., 2006, “Design and Evaluation of Two Dimensional Metrological Atomic Force Microscope using a Planar Nanoscanner,” Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 45, No. 3B, pp. 2124~2127.
Hasche K., Herrmann K., Mirand W., Seemann R., Vitushkin L., Xu M. and Yu G., 2002, “Calibrated Scanning Force Microscope with Capabilities in the Subnanometre Range,” Surf. Interface Anal., Vol. 33, pp. 71~74.
Kwon J., Hong J., Kim Y. S., Lee Dong-Yeon, Lee S. M. and Park S. I., 2003, “Atomic Force Microscope with Improved Scan Accuracy, Scan Speed and Optical Vision,” Rev. Sci. Instrum., Vol. 74, No. 10, pp. 4378~4383.
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Hasche K., Herrmann K., Mirand W., Seemann R., Vitushkin L., Xu M. and Yu G., 2002, “Calibrated Scanning Force Microscope with Capabilities in the Subnanometre Range,” Surf. Interface Anal., Vol. 33, pp. 71~74.
Kwon J., Hong J., Kim Y. S., Lee Dong-Yeon, Lee S. M. and Park S. I., 2003, “Atomic Force Microscope with Improved Scan Accuracy, Scan Speed and Optical Vision,” Rev. Sci. Instrum., Vol. 74, No. 10, pp. 4378~4383.
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