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세라믹 유전체 물질과 냉매 유로 형상에 따른 정전척 냉각에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
회전 척을 이용한 밀링 드릴 머신의 설계 및 해석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
정전척 표면의 세라믹물질 적층 순서에 따른 온도 특성에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
선삭공정에서 딥러닝 영상처리 기법을 이용한 작업자 위험 감소 방안 연구
한국기계가공학회지
2021 .12
One-chucking 시스템 기반의 2-head 동시연삭 가공기의 구조해석에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
랜덤진동해석을 활용한 공작기계용 스마트 마그네틱척 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
2-Head 동시연마가공기의 원 척킹 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
세라믹 정전척 평가를 위한 실시간 모니터링 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
수치 해석을 통한 열전척 내부 유로의 열 유동 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .06
반도체 공정용 칠러 chuck의 냉각특성 시뮬레이션
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
마그네트와 슈를 사용한 내경연삭기의 척킹 장치에 관한연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .11
Development and Performance Evaluation of Chucking Device for Internal Grinding Machine using Magnet and Shoe
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
척-웨이퍼 시스템의 고온 온도균일성 향상을 위한 실험적 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2020 .11
CNC 선반용 알루미늄 파워척의 신뢰성 평가에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
경량화를 고려한 CNC 선반용 알루미늄 파워 척의 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .02
반도체 공정용 칠러의 Chuck에서 냉매의 증발 특성
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .11
탄성 변형을 이용한 CNC 선반용 유압척의 특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .12
반도체 진공척용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 표면에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
Solar Module 용 그라파이트 척의 개발에 관한 연구
한국기계기술학회지
2019 .01
곡면 대응 및 고정력 향상을 위한 EPM척 설계 방법
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
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