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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김태완 (부산대학교) 이상돈 (부산대학교) 조용주 (부산대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2004년도 창립 20주년 기념 자동차 트라이볼로지 국제 심포지움 및 제39회 추계학술대회
발행연도
2004.11
수록면
331 - 338 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

화학적 기계 연마를 위한 탄성변형을 고려한 평균유동모델
김태완 ,  이상돈 ,  조용주 한국트라이볼로지학회 학술대회 2004.11 학술대회자료
화학적 기계 연마를 위한 탄성변형을 고려한 평균유동모델
김태완 ,  구영필 ,  조용주 Tribology and Lubricants 2004.10 학술저널

초록· 키워드

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We present a three-dimensional average flow model considering elastic deformation of pad asperities for chemical mechanical planarization. To consider the contact deformation of pad asperities in the calculation of the flow factor, three-dimensional contact analysis of a semi-infinite solid based on the use of influence functions is conducted from computer generated three dimensional roughness data. The average Reynolds equation and the boundary condition of both force and momentum balance are used to investigate the effect of pad roughness and external pressure conditions on film thickness and wafer position angle.
#CMF #Flow factor #Elastic deformation

목차

Abstract
1. 서론
2. 슬러리 유동 모델
3. 유동 계수
4. 결과 및 고찰
5. 결론
6. 참고 문헌

참고문헌 (0)

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