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이용수
Abstract
1. 서론
2. 슬러리 유동 모델
3. 유동 계수
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고 문헌
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화학적 기계 연마를 위한 탄성변형을 고려한 평균유동모델
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2004 .11
화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
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2014 .10
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1999 .05
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대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
CMP의 화학 기계적 균형
기계저널
2016 .07
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
화학 기계적 연마에서 마찰력 감소에 관한 연구
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2002 .05
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대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
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소성·가공
2004 .04
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
화학기계적연마(CMP) 공정에서의 환경부하 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .10
탄성 미세 채널 협착부의 변형 및 유동 측정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
전자재료 응용을 위한 니켈의 화학기계적 연마특성연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
CMP 공정에서 접촉계면 특성변화에 따른 마찰력 신호 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
CMP 공정에서 패드 홈 밀도 변화에 따른 연마특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
CMP에서 패드의 미세돌기 변형을 고려한 연마율 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
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