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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.21 No.10
발행연도
2007.10
수록면
1,599 - 1,604 (6page)

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Pad dressing, which is one of the most important planarization processes, is widely used in CMP. The estimation of surface roughness under various machining parameters (such as dressing force, diamond density of the dresser, rotational speed of the dresser, different machining paths, etc.) is essential to the pad dressing process. In this study, elastic-plastic theory and the wear model are used to construct the expression for the magnitude of material removal as a function of the indentation depth. The deformation of the pad is obtained by using elastic-plastic theory, and the material removal caused by individual micro-contacts is calculated with the help of wear theory. Finally, the macroscopic wear volume is found by summing the volumetric wear of each individual micro-contact. A parametric study is conducted to explore the influence on the surface roughness results and the pad dressing interfacial phenomena of operational parameters. The results reveal that a rapid initial improvement followed by a leveling off, manifesting a saturation effect. Moreover, the model shows that a higher dressing force with a dresser speed close to the pad speed and a moderate translation speed increase the material removal rate corresponding with a lower surface roughness dressing.
#Pad dressing process #Planarization processing #Material removal #Surface roughness #Elastic-plastic model

목차

Abstract
1. Introduction
2. Modeling the pad dressing process
3. Results and discussion
4. Conclusions
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / A Study of the effects of polisfing parameters on material removal rate and non-uniformity 42 : 99 ~ 103 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1996 / Effects of particle size polishing pad and contact pressure in free abrasive polishing, Wear 200 : 281 ~ 295 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Analysis of the pad deformation for improved pad dressing : 238 ~ 246 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2007 / Estimation of material removal with the help of pad deformation in plararization process 182 : 139 ~ 145 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 1996 / Studies on polishing of glass moulds after lapping with hard and soft pellets 62 : 415 ~ 420 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-015932907