실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

반도체 및 금속의 면저항, 비저항 측정시스템의 자동화

류제천 ,  김동진 ,  강전홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

반도체 공정에서의 웨이퍼 불량 유형 분류 시뮬레이션

하얀 ,  한영신

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

2004 .12

노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구

나원식

한국항행학회논문지

2009 .01

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

van der Pauw와 four point probe 방법에 의한 반도체 웨이퍼의 면저항 비교

강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

300 ㎜보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석

송근수 ,  유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05

반도체 웨이퍼용 브레이킹 머신의 개발

차영엽 ,  최범식

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .10

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 웨이퍼 가공 공정에서 흐름시간을 제어하기 위한 온라인 스케쥴링 방법 ( An On-Line Scheduling Methodology to Control the Flow Time in Semiconductor wafer Fabrication )

윤현중 ,  이두용

대한기계학회 논문집 A권

1999 .12

듀얼 형상을 적용한 4-탐침 면저항 측정기 개발

강전홍 ,  유광민 ,  김한준 외 1명

정보 및 제어 논문집

2009 .10

반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

반도체 절단 공정의 웨이퍼 자동 정렬에 관한 연구

김형태 ,  송창섭 ,  양해정

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .12

반도체 웨이퍼 가공용 박리형 점착제

이호연 ,  김경만 ,  김형일 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

반도체 웨이퍼용 스크라이빙 머신의 개발

차영엽 ,  최범식 ,  고경용

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

웨이퍼 분류 시스템의 설계 및 제작

김호종 ,  박홍래 ,  박승배 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05