웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법

박태경 ,  한승주 ,  홍제형

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication

Sungwon Hong ,  Younsoo Lee ,  Kungsik Lee

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

반도체 웨이퍼 절단장비 전용 스핀들 주축 내부의 냉각 특성 분석을 위한 열유동해석

서영재 ,  김창섭 ,  김종우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

반도체 웨이퍼 핸들링 포토공정 컴팩트 모듈개발

김범준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석

최현진 ,  정용민 ,  서영재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04