Dual-Configuration Four-Point Probe Method에 의한 휴대형 면저항 측정기 개발

강전홍; 유광민; 김완섭

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강전홍 (한국표준과학연구원) 유광민 (한국표준과학연구원) 김완섭 (한국표준과학연구원)

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제59P권 제4호

발행연도: 2010.12

수록면: 423 - 427 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2014

Single and Dual Configuration Four Point Probe Method를 적용한 휴대형 면저항 측정기 개발

강전홍 , 유광민 , 이상화 대한전기학회 학술대회 논문집 2014.07 학술대회자료

2011

Single-Configuration Four-Point Probe method를 이용한 휴대형 면저항 측정기 개발

강전홍 , 유광민 , 이상화 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

2010

Dual-Configuration Four-Point Probe Method에 의한 휴대형 면저항 측정기 개발

강전홍 , 유광민 , 김완섭 전기학회논문지 P 2010.12 학술저널

2009

듀얼 형상을 적용한 4-탐침 면저항 측정기 개발

강전홍 , 유광민 , 김한준 외 1명 정보 및 제어 논문집 2009.10 학술대회자료

2005

반도체 웨이퍼 면저항 측정기의 설계제작

강전홍 , 김한준 , 한상옥 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2005.07 학술대회자료

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Portable sheet resistance-measuring instrument using the dual-configuration Four-Point Probe method is developed for the purpose of precisely measuring the sheet resistance of conducting thin films. While single-configuration Four-Point Probe method has disadvantages of applying sample size, shape and thickness corrections for a probe spacing, the developed instrument has advantages of no such corrections, little edge effects and measuring simply and accurately the sheet resistance between 0.2 Ω/sq and 2 kΩ/sq..

#Four-Point Probe #Single- & # Dual-Configuration #Sheet Resistance #Accuracy #Uncertainty

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - Arther Uhlir,JR / 1954 / The Potentials of Infinite Systems of Sources and Numerical Solutions of Problems in Semiconductor Engineering / Bell System Technical Journal 34 (1) : 105 ~ 128

2. [학술지(정기간행물)] - L. B. Valdes / 1954 / Proceedings of the Institute of Radio Engineers New York / Proceedings of the Institute of Radio Engineers New York 42 : 420 ~ 427

3. [학술대회논문] - F. M. SMITS / 1958 / Measurement of Sheet Resistivities with the Four-Point Probe / Proceedings of the Institute of Radio Engineers : 711 ~ 718

4. [기타자료] - ASTM F84 / / Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers with In-Line Four-Point Probe

5. [기타자료] - Lydon J. Swartzendruber / 1964 / Correction Factor Tables for Four-Point Probe Resistivity Measurements on Thin, Circular Semiconductor Samples

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강전홍

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논문수 90 이용수 9,614

유광민

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 81 이용수 11,741

김완섭

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 12 이용수 1,627

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