스퍼터링법으로 제작한 AI/AIN/GaAs MIS 구조에서 절연박막에 수소가스첨가가 미치는 영향

권정열 ,  김민석 ,  김지균 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

$\textrm{Si}_{3}\textrm{N}_{4}$-AIN 복합세라믹스의 In-Situ합성

이병택 ,  김해두 ,  허석환 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

Pt-MIS Capacitor 소자의 수소가스 검지특성에 관한 연구

권경환 ,  이승환 ,  김영환 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 제작

금민종 ,  추순남 ,  최명규 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

반응성 스퍼터링으로 제조한 MIS 소자용 AIN 절연박막의 전기전도 메커니즘

秋順男 ,  朴正哲 ,  權廷烈 외 1명

전기학회논문지

2007 .04

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

정준필 ,  이명호 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

丁晙必 ,  李明鎬 ,  李進馥 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .08

Preparation of AIN Thin Films on GaAs ( 100 ) by RF Sputtering

정성훈 ,  김영호 ,  송복식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Pd-SnO_x MIS 캐패시터를 이용한 산소 센서

金昌敎

전기학회논문지

1998 .12

2단계 증착 방법이 AIN 박막의 물성 및 체적 탄성파 소자의 특성에 미치는 영향

조동현 ,  정준필 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .01

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

산화알루미늄 박막을 이용한 GaN MIS 구조의 제작 및 전기적 특성

윤형선 ,  정상현 ,  곽노원 외 4명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과

서지민 ,  정민창 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

AIN SMS 프로토타입 구현 ( A Prototype of AIN Service Management System )

강문석

대한전자공학회 워크샵

1995 .01

산화알루미늄 박막을 이용한 SiC MIS 구조의 제작 및 전기적 특성

최행철 ,  정순원 ,  정상현 외 2명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

DC Sputtering 방법을 이용한 몰리브덴 박막의 특성

김석기 ,  이정철 ,  강기환 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Electrical Properties of MIM and MIS Structure using Carbon Nitride Films

Hyo Ung Lee ,  이성필

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2006 .01