반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구

高鳳哲 ,  田淳培 ,  黃永漢 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .02

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

스퍼터링법으로 제작한 AI/AIN/GaAs MIS 구조에서 절연박막에 수소가스첨가가 미치는 영향

권정열 ,  김민석 ,  김지균 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Al₂O₃ 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 SAW소자 응용에 관한 연구

高鳳哲 ,  孫陳雲 ,  金炅錫 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .07

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

정준필 ,  이명호 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

丁晙必 ,  李明鎬 ,  李進馥 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .08

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

Effect on the structure and physical property of Co contents in AIN thin films

S.J.Pa ,  k ,  C.S.Oh

한국에너지학회 학술발표회

2012 .04

Electrical Properties of (Bi,Y)₄Ti₃O₁₂ Thin Films Grown by RF Sputtering Method

Sung-Pill Nam ,  Sung-Gap Lee ,  Seon-Gi Bae 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2007 .03

RF-스퍼터링에 의해 GaAs 기판상에 제작된 ZnO 박막의 성장온도와 공정가스비의 의존성

이수만 ,  김강복 ,  고항주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

2단계 증착 방법이 AIN 박막의 물성 및 체적 탄성파 소자의 특성에 미치는 영향

조동현 ,  정준필 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Fabrication of $MgB{_2}$ Thin Films by rf Sputtering

Ahn ,  Jong-Rok ,  Hwang 외 3명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2002 .01

Radio Frequency 스퍼터링 방법으로 성장된 AIN 박막의 저항 변화 메모리 특성 연구

김희동 ,  안호명 ,  서유정 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .01