RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성

양지훈 ,  정재훈 ,  송민아 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

SiO_x/n⁺-Si/Si(100) quantum well의 특성

김지훈 ,  변정현 ,  유정재 외 3명

Proceedings of KIIT Conference

2011 .05

RF magnetron sputtering를 이용한 n+/i/p구조 Solar Cell의 제작과 특성평가

김도완 ,  이은주 ,  이수홍

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2005 .06

RF Magnetron Sputtering법에 의해 형성된 MgO 박막의 결정성과 Plasma Dmage에 미치는 영향

손충용 ,  박정원 ,  조진희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

DC magnetron sputtering 법으로 제조된 Ti-Si-N 코팅막의 내산화성에 관한 연구

최준보 ,  류정민 ,  조건 외 2명

한국표면공학회지

2002 .12

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11