DC sputtering법을 이용한 AI/AIN/Si MIS capacitor 제작 및 수소첨가가 전기적 특성에 미치는 영향

김민석 ,  권정열 ,  김지균 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Preparation of AIN Thin Films on GaAs ( 100 ) by RF Sputtering

정성훈 ,  김영호 ,  송복식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

GaAs를 이용한 MIS형 다이오드의 제작 및 전기적 특성 ( Fabrication of MIS Type GaAs Diode and Its Electrical Characteristics )

정기태 ,  정호선

전자공학회지

1986 .01

반응성 스퍼터링으로 제조한 MIS 소자용 AIN 절연박막의 전기전도 메커니즘

秋順男 ,  朴正哲 ,  權廷烈 외 1명

전기학회논문지

2007 .04

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

정준필 ,  이명호 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

丁晙必 ,  李明鎬 ,  李進馥 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .08

대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 제작

금민종 ,  추순남 ,  최명규 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

Radio Frequency 스퍼터링 방법으로 성장된 AIN 박막의 저항 변화 메모리 특성 연구

김희동 ,  안호명 ,  서유정 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

2단계 증착 방법이 AIN 박막의 물성 및 체적 탄성파 소자의 특성에 미치는 영향

조동현 ,  정준필 ,  이진복 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .01

AIN 적합성 시험 시스템 설계 ( A Design of AIN Conformance Test System )

송한영 ,  배성용 ,  김상기

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Effect on the structure and physical property of Co contents in AIN thin films

S.J.Pa ,  k ,  C.S.Oh

한국에너지학회 학술발표회

2012 .04

AIN SMS 프로토타입 구현 ( A Prototype of AIN Service Management System )

강문석

대한전자공학회 워크샵

1995 .01

필터용 AIN 압전 박막의 제작

금민종 ,  김영철 ,  서화일 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

AIN에 IT 사업자의 공헌 ( The Contribution IT Venders to AIN )

이현철

한국통신학회 학술대회논문집

1996 .01

AIN 에 IT 사업자의 공헌 ( The Contribution IT Venders to AIN )

이현철

대한전자공학회 학술대회

1996 .08

PECVD방법으로 형성한 $W_{67}N_{33}$/GaAs구조의 열적 특성

이세정 ,  홍종성 ,  이창우 외 3명

한국재료학회지

1993 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구

高鳳哲 ,  田淳培 ,  黃永漢 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .02

RF-스퍼터링에 의해 GaAs 기판상에 제작된 ZnO 박막의 성장온도와 공정가스비의 의존성

이수만 ,  김강복 ,  고항주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11