고속 열처리 장치를 이용한 Alloy 공정과 Implantation Annealing ( Metal Alloy and Implantation Annealing by Rapid Thermal Processing )

김충기 ,  이동엽 ,  조병진

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Al alloy 공정을 위한 고속 열처리 장치 ( Rapid Thermal Alloy System for Al Alloy )

이동엽 ,  박광서 ,  정진면 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

Reverse annealing of boron doped polycrystalline silicon

Lim ,  Jung-Yoon ,  Hong 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

알루미늄 열처리공정을 위한 고속 열처리장치의 설계 제작 및 성능평가

李東燁 ,  李英姬

전기학회논문지

1991 .10

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

산화물 분산강화 동합금의 열처리에 따른 미세조직 및 기계적 특성

김용석

한국분말야금학회지

2006 .01

Al-Li-(Be)합금 주괴의 미세조직과 기계적 성질

은일상 ,  조현기

한국주조공학회지 (주조)

1990 .01

Co-($Al_{1-X}Fe_X$) 합금계의 결정구조 및 자기적 성질

고관영 ,  윤석길

한국재료학회지

1992 .01

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

이온주입 및 열처리 조건에 따른 박막접합의 특성 비교 ( Comparison of Shallow Junction Properties depending on Ion Implantation and Annealing Conditions )

홍신남 ,  김재영

전자공학회논문지-D

1998 .07

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Fe-Si-B-Ni 비정질 합금의 어닐링에 관한 연구

김신우 ,  송용설 ,  백무흠

한국재료학회지

2003 .01

Mean Field Annealing 을 이용한 곡률 추정에 관한 연구 ( A Study on The Curvature Estimation Using Mean Field Annealing )

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Mean Field Annealing을 이용한 곡률 추정에 관한 연구

손광훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

이온주입 공정을 이용한 4H-SiC p-n Diode에 관한 시뮬레이션 연구

이재상 ,  방욱 ,  김상철 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01