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J.Y. Jin (서울대학교) J.H. Park (이화여자대학교) B.W. Yoo (서울대학교) Yun-Ho Jang (서울대학교) I.H. Park (이화여자대학교) Y.K. Kim (서울대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,499 - 1,500 (2page)

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In this paper, we present a simple fabrication process for sloped electrodes in 2-degree of fredom(DOF) scanning micromirror employing pholydimethylsiloxane(PDMS). Using this process, quasi-conic figure electr ... 전체 초록 보기

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