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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 신뢰성부문/한국신뢰성학회 춘계 공동학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
7 - 8 (2page)

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An micro-probe tip must be manufactured using thin film to evaluate integrity of the semiconductor with narrow distance between pads. The micro-probe tip has the critical problem that each tip cannot endure or produce the force required to break oxide on metal pad surface. An electric break down of thin oxide film on metal contact, which is known as flitting, is a factor to decrease ... 전체 초록 보기
#Design of experiment(실험계획법) #Finite element methode(유한요소법) #Probe tip(프루브 팀)

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