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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Design and Fabrication
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References
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Fabrication of Silicon Micro-Probe for Vertical Probe Card Application
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
신뢰성을 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 특성평가
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
마이크로 스프링 구조를 갖는 121 pins/㎟ 고밀도 프로브 카드제작기술
전기전자재료학회논문지
2007 .01
이중 로듐 층을 갖는 멤스 프로브 팁의 특성
한국표면공학회지
2012 .04
마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
Reliability modeling of MEMS probe card with vertical guide
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2009 .07
고밀도 프로빙 테스트를 위한 수직형 프로브카드의제작 및 특성분석
전기전자재료학회논문지
2006 .01
MEMS 기술을 이용한 프로브 카드의 탐침 제작
제어로봇시스템학회 논문지
2008 .04
미세 피치를 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 기계적 특성 평가
한국산학기술학회 논문지
2010 .04
Silicon MEMS probe for permittivity measurement
대한전자공학회 ISOCC
2005 .10
Scaling effects of a fine-pitched and vertically guided MEMS probe card
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2009 .07
탐침형 정보저장 기술을 위한 실리콘 탐침의 나노 마멸 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
Dip-pen nanolithography를 위한 이중 팁을 가진 질화규소 프로브의 설계 및 제조
한국표면공학회지
2014 .12
반도체 칩 검사용 MEMS Probe tip의 전산 설계 및 maskless lithography를 이용한 패턴 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
실험 계획법을 이용한 C형 Probe tip의 최적 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .02
MEMS 기반의 스마트 4단자 탐침 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
미세피치 멤즈 프로브 형성 공정 개발
대한전자공학회 학술대회
2010 .06
Silicon Micro-probe Card Using Porous Silicon Micromachining Technology
[ETRI] ETRI Journal
2005 .08
실험 계획법을 이용한 프루브 팁의 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .06
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