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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
256 - 259 (4page)

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An micro-probe tip must be manufactured using thin film to evaluate integrity of the semiconductor with narrow distance between pads. In this study, fatigue tests were performed for BeCu thin film which is used in micro-probe tip of semiconductor test machine. The thin film was manufactured by electro plating process, and the specimens were fabricated by wire-cut electric discharge method to make hour glass type specimen of 5000㎛ width, 29200㎛ length and 30㎛ thickness. The fatigue test of load control with 10㎐ frequency was performed, in ambient environment. The fatigue cycles were tension-tension with mean stress, at stress ratio, R=0.1.
#Thin film(박막) #Fatigue Properties(피로성질) #Probe tip(프루브 팁) #BeCu

목차

Abstract
1. 서론
2. 시편 및 시험기
3. 인장 시험
4. 피로 시험
5. 결론
참고문헌

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