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$(Ru_{0.8}Nb_{0.2})Sr_2(Gd_{1.5-x}Nd_xCe_{0.5})Cu_2O_z$ 계의 합성 및 초전도 특성
Progress in superconductivity
2009 .01
고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2004 .01
Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구
한국재료학회지
2001 .01
Effect of Hydrogen Plasma on Electroless Plating Ni-B Films and Its Cu Diffusion Barrier Property
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Ru(EtCp)2 전구체를 이용한 PEALD Ru 공정 최적화에 관한 연구
한국분말야금학회지
2013 .01
TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Cu-MOCVD를 위한 TiN기판의 플라즈마 전처리
한국재료학회지
2001 .01
Cu 치환에 따른 $(Ru_{1-x}Cu_x)Sr_2(Eu_{1.34}Ce_{0.66})Cu_2O_z$ 계의 초전도 특성
Progress in superconductivity
2009 .01
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-TiN 히터 박막의 합성 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
새로운 Ru precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막의 두께 및 산소의 박막 특성에 대한 영향분석
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
A Study on the Plasma Etching of Ru Electrodes using O2/Cl2 Helicon Discharges
Corrosion Science and Technology
2003 .01
Enhanced Oxygen Diffusion Barrier Properties of Hybrid Ru-TiN Thin Films Prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Ru 박막의 응력 거동 분석 및 산소 유량 조절을 통한 결정립 성장 억제
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
$Ru(EtCp)_2$ precursor를 이용하여 증착한 Ru 박막 특성 및 Ru precursor의 분해 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Ru 핵생성에 대한 ECR plasma 전처리 세정의 효과
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화
전기전자학회논문지
2018 .12
Ru 촉매의 비활성화 억제를 위한 연구
공업화학
1994 .01
The Structure and Electrical Characteristics of CNTs Depending on the Hydrogen Plasma Treatment
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
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