캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구

고현준 ,  이동헌 ,  김종형

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .06

매니폴드 노즐 형상변화가 웨이퍼 캐리어 내부 유동특성에 미치는 영향

정문기 ,  강병화 ,  강현영 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

유입구 형상 변화에 따른 웨이퍼캐리어 내부 유동 특성 연구

전진현 ,  홍우 ,  박정우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .11

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

WAFER FAB 공정의 운영 방법 연구

이봉근 ,  김성식

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1994 .10

주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

반도체 팹에서의 투입 로트 구성을 위한 다차원 동적계획 알고리듬

방준영 ,  임승길 ,  김재곤

산업경영시스템학회지

2016 .01

대전 방지용 웨이퍼 캐리어 전기적 특성

채종윤 ,  구경완 ,  변우석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01